产品单价 |
350000.00元/台 |
起订量 |
1台 |
供货总量 |
10 台 |
发货期限 |
自买家付款之日起100天内发货 |
品牌 |
螣芯科技 |
产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶
对准精度：±0.8μm
大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围）
gong灯功率：350W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点：
创新采用三柔性支点实现自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
| 上海螣芯电子科技有限公司 | |||
|---|---|---|---|
| 联系人 | 娄先生 |
微信 | 无 |
| 手机 | | 邮箱 | 1029292366@qq.com |
| 传真 | 无 | 地址 | 上海青浦新城城东新村104号 |
| 主营产品 | 微电子封装设备,前道工艺设备,芯片工艺设备,检测类设备 | 网址 | http://astake0309.b2b.huangye88.com/ |
